在Zemax中優(yōu)化RMS（均方根）時(shí)，可以使用以下步驟：

1. 打開(kāi)Zemax軟件并導(dǎo)入所需的光學(xué)元件模型。
2. 在Optic Studio中，選擇“Optical Design”選項(xiàng)卡。
3. 在“Design”區(qū)域中，點(diǎn)擊“Optimization”按鈕。
4. 在彈出的對(duì)話框中，選擇“Optimize RMS”選項(xiàng)。
5. 在“Optimization”設(shè)置中，可以選擇“Optimize for”選項(xiàng)，例如“Maximum Efficiency”、“Minimum Light Intensity”等。
6. 在“Optimization”設(shè)置中，還可以調(diào)整其他參數(shù)，如“Optimization Algorithm”、“Optimization Steps”等。
7. 點(diǎn)擊“OK”按鈕，開(kāi)始進(jìn)行優(yōu)化。
8. 優(yōu)化完成后，可以查看優(yōu)化結(jié)果，包括RMS值、光線分布等。
9. 如果需要進(jìn)一步優(yōu)化，可以重復(fù)步驟3-8，或者使用其他優(yōu)化方法。